Prober AOI

Die Firma E+E Elektronik produziert neue Feuchtigkeitssensoren auf 8" Silizium-Wafern.

Dabei werden ca. 90.000 Sensoren auf einem Wafer untergebracht. Im Zuge der Qualitätskontrolle werden die Sensoren auch optisch geprüft. Eine rein menschliche Kontrolle ist bei dieser Stückzahl nicht mehr möglich. Die dwh GmbH hat als Interimslösung ein vorhandenes Mikroskop von Olympus mit einer Kamera und einem Motortisch ausgerüstet und eine Steuersoftware geschrieben, die Wafer vollautomatisch einscannt.

Dafür wird im ersten Schritt die genaue Lage und Verdrehung des Wafers bestimmt, danach wird dieser eindeutig anhand eines Datamatrixcodes identifiziert. Anhand vorhandener CAD-Daten wird der optimale Scanweg berechnet und der Wafer schrittweise Bild für Bild eingescannt, dabei wird auch laufend die Bildschärfe kontrolliert und nachjustiert.

Die entstandenen Bilder werden abgelegt und von einer zweiten, von uns entwickelten Software vollautomatisch nach vorgegebenen Kriterien auf Fehler geprüft. Der gesamte Prozess ist mit der firmeneigenen Datenbank gekoppelt. So ist eine lückenlose Kontrolle möglich.